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ボンダー
全自動マイクロチップボンダー
0.3mm~数mmのチップをサブミクロン実装
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特長
赤外光学系を採用。チップ裏面とマウント表面のアライメントマークを同一視野で計測。
バランシングハンドリング機構により押さえ圧を10gから設定可能。(特許取得済み)
ハンドリング部にエアースライダー軸受けを採用。高精度な位置決めが可能。
実装部には雰囲気ガスを充填。ハンダの酸化を防止。
デュアルヘッドのため0.3mmから数mmのチップまで実装可能。
セラミックスヒーターを使用。加熱、冷却が早い。
紫外線硬化樹脂を用いての接着作業も可能
マクロ機能で試作から量産まで即座に対応。
ボンディングの良否判定が可能(オプション)
側視顕微鏡を追加し、チップの側面でアライメントを実行(オプション)
主な仕様
実装精度:XYZ±1μm
光学部
鏡筒部:可視・赤外両用無限遠望遠鏡
倍率:低倍・高倍切り替え式
機構部
オートフォーカス部
使用レーザー:半導体レーザー
XYステージ部
最小送り量:0.1μm
測長ユニット:リニアスケール
ボンディングステーション
加熱方式:セラミックスヒーター
冷却方式:強制空冷
制御部
PC:Windows NT4.0
ソフトウエア:
自動ボンディング機能
画像計測ソフトウエア
ステージマニュアル駆動
ヒーターコントロール機能
その他
消費電力:100V15A
設置面積:W1300×D1000×H1500mm
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