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Mitaka Kohki.Co., Ltd.
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全自動マイクロチップボンダー
FAMIC-3

0.3mm~数mmのチップをサブミクロン実装
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特長
  • 赤外光学系を採用。チップ裏面とマウント表面のアライメントマークを同一視野で計測。
  • バランシングハンドリング機構により押さえ圧を10gから設定可能。(特許取得済み)
  • ハンドリング部にエアースライダー軸受けを採用。高精度な位置決めが可能。
  • 実装部には雰囲気ガスを充填。ハンダの酸化を防止。
  • コレット交換式のため0.3mmから数mmのチップまで実装可能。
  • セラミックスヒーターを使用。加熱、冷却が早い。
  • マクロ機能で試作から量産まで即座に対応。
  • ボンディングの良否判定が可能(オプション)

主な仕様

  • 実装精度:XYZ±1μm
  • 光学部
    鏡筒部:可視・赤外両用無限遠望遠鏡
    倍率:低倍・高倍切り替え式
  • 機構部
    • オートフォーカス部
      使用レーザー:半導体レーザー
    • XYステージ部
      最小送り量:0.1μm
      測長ユニット:リニアスケール
    • ボンディングステーション
      加熱方式:セラミックスヒーター
      冷却方式:強制空冷
  • 制御部
    PC:Windows NT4.0
    ソフトウエア:
    • 自動ボンディング機能
    • 画像計測ソフトウエア
    • ステージマニュアル駆動
    • ヒーターコントロール機能
  • その他
    消費電力:100V10A
    設置面積:W1000×D870×H1600mm
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