FAMIC-5R(光素子実装装置)デュアルヘッド・倒立光学系付きタイプ
FAMIC-5M(高出力LDチップボンダー) シングルヘッド・側視光学系付きタイプ
FAMIC-5(全自動マイクロチップボンダー)デュアルヘッドの基本タイプ
FAMIC-3(全自動マイクロチップボンダー) ステージサイズが小さいシングルヘッド試作・少量向け
納入実績 MEMS関連・SHG素子・光通信関連他
FAMICシリーズ機構図