| 【標準仕様】 | |||||||||
| 仕様 モデル | NH120S | NH-3N | NH-3MA | NH-3SP | NH-4N | NH-5N | NH-6N | ||
| 顕微鏡部 | 観察光学系 （無限遠鏡筒） |
ｆ=100mm | ｆ=180mm | ｆ=100mm | ｆ=180mm | ||||
| 対物レンズ※1 | 10X、100X | 10X、50X | 10X、20X、 50X、100X |
10X、 50X、100X |
10X、50X | ||||
| レボルバー | 2穴手動 | 5穴手動 | 5穴電動 | 5穴手動 | 5穴電動 | ||||
| CCDカメラ | 38万画素カラ−CCD（オプションで145万画素CCD、モノクロCCD等） | ||||||||
| モニタ− | 10インチカラ−モニタ（オプション：15インチモニタ、画像キャプチャ機能） | ||||||||
| 照明方式 | 明視野落射照明装置 | ||||||||
| 可動範囲 | X | 120mm | 150mm | 100mm | 150mm | 250mm | 300mm | 400mm | |
| Y | − | 150mm | 100mm | 150mm | 200mm | 400mm | 500mm | ||
| Z | 110mm （手動） |
100mm （手動） |
100mm | 120mm | 100mm （手動） |
120mm | 170mm | ||
| AF | 10mm | ||||||||
| 分解能 | X | 0.1μm | 0.01μm | 0.1μm | |||||
| Y | 0.1μm | 0.01μm | 0.1μm | ||||||
| Z1（AF） | 0.01μm | 0.001μm | 0.01μm | ||||||
| Z2（粗動） | 0.1μm | ||||||||
| 測定精度 ※L=測定長(mm) |
X，Yスケ−ルなし | （4+20L/1000） μm※2 |
（4+20L/1000） μm |
− | − | （4+20L/1000） μm |
− | − | |
| X，Yスケ−ルあり | （2+4L/1000） μm※2 |
（2+4L/1000） μm |
（2+4L/1000） μm |
(0.5+2.5L /1000)μm |
（2+4L/1000） μm |
（2+4L/1000） μm |
（2+4L/1000） μm |
||
| Z1(AF)スケールあり | （0.3+0.5L/10）μm | (0.1+0.3L /10)μm |
（0.3+0.5L/10）μm | ||||||
| Z2（粗動） スケールあり |
− | (2+3L/100)μm | (1+2L/120) μm |
(2+3L/100) μm |
(2+3L/120) μm |
(2+4L/170) μm |
|||
| 測定再現性（AF） | σ=0.03μm | σ=0.01μm | σ=0.03μm | ||||||
| オ−トフォ−カス※3 | フォ−カスエリア※4 | 100×：約1μm 50×：約2μm 20×：約4μm 10×：約15μm | |||||||
| 使用レーザ | 半導体レーザ（出力 1mW MAX. 波長635nm クラス2） | ||||||||
| 測長器(測定長) | リニアスケ−ル(10mm) | リニア スケ−ル(120mm) |
リニア スケ−ル(170mm) |
||||||
| その他 | 載物台寸法（W×D） | 204×224 mm |
244×240mm | 284×240 mm |
364×244 mm |
400×480 mm |
480×580 mm |
||
| 測定物の最大高さ | 105mm | 120mm | 170mm | ||||||
| ステージ耐荷重 | 6kg | 12ｋｇ | 100ｋｇ | ||||||
| 装置寸法 （W×D×H） |
515×300 ×581 |
1550×900×1400 | 1550×920 ×1610 |
1660×970 ×1400 |
2100×1420 ×1720 |
2100×1600 ×1730 |
|||
| 装置重量 | 45kg | 210kg | 220kg | 320kg | 250Kg | 1500Kg | 2300Kg | ||
| 消費電力 | 500W(100V5A) | 1kＷ(100V10A) | |||||||
| 専用防振台 | 卓上式※5 | ゴムダンパ式 | エアー式 | ゴムダンパ式 | エアー式 | ||||
| 制御ユニット | ステージ制御ユニット一式、制御用パソコン一式、パソコンラック | ||||||||
| 標準ソフトウェア | アライメント機能、基準面作成機能、高さ測定、断面／三次元形状・表示、粗さ測定、点測定、断面寸法評価、 ティーチングマクロ機能 （作成、実行） |
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| 【オプション仕様】 | ●…標準装備 ○…対応可 | ||||||||
| 仕様 モデル | NH120S | NH-3N | NH-3MA | NH-3SP | NH-4N | NH-5N | NH-6N | ||
| メカ | XYリニアスケール | ●※2 | ○ | ● | ● | ○ | ● | ● | |
| 電動Z | − | ○ | ● | ● | ○ | ● | ● | ||
| 5穴電動レボルバー | − | ○ | ● | ● | ○ | ● | ● | ||
| 透過ステージ | − | ○ | ● | ○ | ○ | − | − | ||
| 透過照明装置 | − | ○ | ● | ○ | ○ | − | − | ||
| エレベーション ステージ |
○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| エアー式防振台※6 | ○ | ○ | ○ | ● | ○ | ● | ● | ||
| 安全対策 | 恒温カバー | − | ○ | ○ | ● | ○ | ● | ● | |
| 非常停止ボタン | − | ○ | ● | ● | ○ | ○ | ○ | ||
| インターロック機構 | − | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| ソフトウェア | ＸＹ寸法測定ソフト※7 | − | ○ | ● | ● | ○ | ● | ● | |
| 非球面評価ソフト | − | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| オプチカルフラット 補正ソフト |
− | ○ | ○ | ● | ○ | ○ | ○ | ||
| 温度補正ソフト | − | ○ | ○ | ● | ○ | ○ | ○ | ||
| 光学特性評価ソフト | − | ○※8 | ● | ○※8 | ○※8 | − | − | ||
| 画像処理ソフト Mitaka Imager※9 | ○ | ○ | ● 38万画素 |
○ | ○ | ○ | ○ | ||
| その他オプションソフト | ベクトル評価ソフト、三次元分割測定ソフト、マトリックス測定ソフト、フライアイレンズ測定ソフト、 三次元マスク測定ソフト、図面印刷ソフト、BAR作成ソフト、差分ソフト、コプラナリティ評価ソフト、 画像解析ソフト（SurftopEye／WinROOF／DynamicEye）、焦点深度測定※10、MTF解析ソフト※10 |
||||||||
| その他 | 対物レンズ（5×、20×、100×）、ウェハホルダ、6インチ自動θステージ、拡大光学系（f=180mm） | ||||||||
| ノマルスキー観察、温度制御恒温槽、赤外透過観察、プリンタ | |||||||||
| ※本仕様は改善のため予告なく変更される場合があります。 | |||||||||
| ※1 | 10×（NA=0.3、WD=10.1mm）、50×（NA=0.5、WD=10.6mm） | ||||||||
| ※2 | NH120Sの場合は、Xステージのみです。 | ||||||||
| ※3 | オートフォーカス部はリニアスケール標準装備です。また、表中のAFはオートフォーカスを示します。 | ||||||||
| ※4 | フォーカスエリアとは、レーザスポット径を意味します。 | ||||||||
| ※5 | NH120Sの場合、卓上防振台はオプションであり、ゴム式／エアー式のいずれかを選択します。 | ||||||||
| ※6 | 供給エアー：5kgf/cm2 | ||||||||
| ※7 | 溝幅測定、円測定、エッジ検出、曲率測定機能。XYリニアスケール仕様の場合、標準添付になります。（ただし、NH120Sを除く） | ||||||||
| ※8 | 透過ステージ／透過照明装置／38万画素画像処理ソフトが必要となります。 | ||||||||
| ※9 | 画像処理ソフトMitaka Imagerは、キャプチャのみ／38万画素／145万画素のいずれかを選択します。（それぞれCCDカメラが異なります） | ||||||||
| ※10 | NH-3MAおよび光学評価特性ソフト専用オプション | ||||||||