微細化が進むマイクロ工具・マイクロ部品の測定において、従来からの接触式や投影機では不可能であったサブμmレベルでの形状測定・評価を行うことができます。レーザプローブ方式光学系の小型化によりワークに対してあらゆる方向からの測定が可能になり、マイクロ部品の全周輪郭形状測定を実現しました。

特長

• 非接触レーザプローブ式測定
  (接触式では変形してしまうワークの測定が可能)
• 広範囲・高分解能測定
  (測定範囲:φ80mm以下　分解能:軸方向0.01μm　円周方向0.1μm)
• m=0.5以下のマイクロギヤの歯形形状評価
  (歯車評価オプション)
• 測定点の観察ができる(顕微鏡観察機能)
• 接触式と相関のある粗さ測定機能
• 任意の断面の輪郭形状測定が可能
• ワークの芯だし作業不要(回転中心自動検出機能)