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非接触断面粗さ測定装置(NH-120S) 戻る

大好評のNHシリーズに新製品

  • Xステージのみ電動ステージにすることによりお求めやすい価格に。
  • 省スペース・軽量化で、机上に設置が可能。
  • 精度はNHシリーズと同一。(Z軸測定分解能0.01μm)
  • 手動ステージなどの豊富なNHのオプションも使用可能。
  • 2001年のJIS粗さ規格に対応。
  • 接触式との高い相関性。
    粗さスタンダード:Ra=3.19μmに対し
    測定結果:    Ra=3.178μm

装置測定機能

  • 粗さ測定
  • 断面形状測定

装置構成品

  • 測定装置本体
  • レンズ(100×,観察用10×)
  • CCDカメラ、TVモニタ
  • コンピュータ
  • 専用ソフト
  • オプション(防震台ほか)
装置仕様
Z分解能 0.01μm
Z軸精度 ±1μm/10mm以内
Z再現性 σ=0.03μm以内
Z測定範囲 10mm
Z可動範囲 110mm
X最小送り 0.1μm
X測定範囲 120mm
積載面 204×224mm
耐荷重 6kg
測定方法 レーザープローブ方式
使用レーザー 半導体レーザー
(λ=635nm)
測定例はこちら
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