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非接触断面粗さ測定装置(NH-120S) |
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大好評のNHシリーズに新製品
- Xステージのみ電動ステージにすることによりお求めやすい価格に。
- 省スペース・軽量化で、机上に設置が可能。
- 精度はNHシリーズと同一。(Z軸測定分解能0.01μm)
- 手動ステージなどの豊富なNHのオプションも使用可能。
- 2001年のJIS粗さ規格に対応。
- 接触式との高い相関性。
粗さスタンダード:Ra=3.19μmに対し 測定結果: Ra=3.178μm
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装置測定機能
装置構成品
- 測定装置本体
- レンズ(100×,観察用10×)
- CCDカメラ、TVモニタ
- コンピュータ
- 専用ソフト
- オプション(防震台ほか)
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装置仕様 |
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| Z分解能 |
0.01μm |
| Z軸精度 |
±1μm/10mm以内 |
| Z再現性 |
σ=0.03μm以内 |
| Z測定範囲 |
10mm |
| Z可動範囲 |
110mm |
| X最小送り |
0.1μm |
| X測定範囲 |
120mm |
| 積載面 |
204×224mm |
| 耐荷重 |
6kg |
| 測定方法 |
レーザープローブ方式 |
| 使用レーザー |
半導体レーザー (λ=635nm) |
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| 測定例はこちら |
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