三鷹光器独自のレーザープローブ方式による表面形状測定と高精度画像処理によるレンズの光学特性評価を可能にしたシステムです。
大面積化が進むマイクロレンズアレイ(MLA)の研究開発、品質管理に最適です。

測定機能

○　レンズ形状測定
　　（レーザープローブによる測定）

• 各レンズ表面の曲率半径(Rc)、中心座標値
• 真円度
• 頂点の高さ、XY座標値
• 断面・三次元形状測定、表面粗さ測定

○　光学特性評価（画像処理による測定）

• 実効焦点距離（ｆｂ，ｆｆ）
• バックフォーカス(BFL)
• 各レンズの集光位置(Sx,Sy,Sz)、位置ずれ
• 各レンズの集光スポットサイズ(Wx,Wy)
• 透過率
• 焦点面での結像評価
  （コマ収差、歪曲収差、etc）

測定例

測定応用例

• 液晶プロジェクター用MLA
• フライアレイレンズ及び金型
• CCDオンチップレンズ

• ロッドレンズアレイ
• 光集積回路用平板マイクロレンズ
• 光通信用MLA及び金型