 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
|
Copyright(c)
Mitaka Kohki.Co., Ltd. All rights reserved |
||
 |
 |
 |
||||
 |
||||||
-表面の微細な傷表面粗さ-
下の写真はウエハー上の同じ位置を撮影しています。
左が通常の光学系による画像、右がノマルスキー光学系による画像です。
| 明視野画像 | ノマルスキー光学系での画像 |
 |
 |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ノマルスキー微分干渉観察装置 -表面の微細な傷表面粗さ- |
戻る | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ノマルスキー微分干渉光学系は、数十Åレベルの面粗さやキズを検出できる能力を持っています。これにNHシリーズの形状測定機能がプラスされることにより、鏡面やウエハ等のキズや段差を検出し、その場で定量的な粗さや段差測定を行うことができます。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ノマルスキー光学系はワーク表面のわずかな段差、キズを強調します。 下の写真はウエハー上の同じ位置を撮影しています。 左が通常の光学系による画像、右がノマルスキー光学系による画像です。 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||