 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
 |
||
|
Copyright(c)
Mitaka Kohki.Co., Ltd. All rights reserved |
||
 |
 |
 |
||||
 |
||||||
-温度変化によるワークの変形を高精度測定-
| 高さ測定再現性 | σ=0.2μm |
| 最大ワークサイズ | XYZ=100×50×12mm |
| ヒーター部 | セラミックヒーター |
| 温度制御方式 | パルス制御 |
| 温度設定範囲 | 常温から２００℃まで |
| 温度設定単位 | 0.1℃ |
| 温度センサー | 熱電対 |
| 供給冷却エアー | １００Ｌ/min |