• 非接触だからワークを傷つける心配がありません
• 柔らかい物・傷つきやすい物でも簡単に測定できます
• プローブ径はわずか１μmです。(100倍対物レンズ使用時)
• 粗さを持つワークに対して90°近くまで測定が可能です。

高精度XYステージ

• 高い精度が要求される三次元測定・非球面測定に威力を発揮します。

接触式との相関がとれる

• ワーク表面の色や反射率、角度などの影響を受けません
• 接触式の三次元測定器や表面粗さ計との相関性が良好です。

測定原理・特長(PDFファイル)