分解能1nmを達成
測定精度、分解能を極めた高精度バージョン

測定範囲
(X,Y,Z) =150X150X10mm
オプションにてZ=110mm

測定分解能
(X,Y,Z) =0.01X0.01X0.001μm

測定応用例

• 非球面レンズ測定、形状評価
• 金型の測定、粗さ測定
• マイクロレンズ測定、ピッチ計測
• 液晶導光板の形状、ピッチ
• ウエハパターンの寸法測定
• 表面のキズ、欠陥測定
• MEMS関連

詳細カタログ（PDFファイル）
測定原理・特長(PDFファイル)
NHシリーズ仕様一覧