ワークサイズで選べる４タイプ
測定分解能（シリーズ共通）
　　　　(X,Y,Z)=(0.1,0.1,0.01)μm　

NH-3N

• 優れた機能と高いコストパフォーマンス
  NHシリーズ標準システム
• 測定範囲(X,Y,Z)=(150,150,10)mm
  オプション時Z=110mm

NH-4N

• 高密度、大型化する半導体製品の
  品質管理に最適
• 測定範囲(X,Y,Z)=(250,200,10)mm
  オプション時Z=110mm

NH-5N

• 門型構造で大型重量物の
  高精度測定を実現
• 測定範囲(X,Y,Z)=(300,400,120)mm
  オプション時Z=170mm

NH-6N

• 液晶ディスプレイのパターン
• 大型非球面ミラーをダイレクト測定
• 測定範囲(X,Y,Z)=(400,500,170)mm
  

測定原理・特長(PDFファイル)
仕様一覧