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Copyright(c)
Mitaka Kohki.Co., Ltd. All rights reserved |
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キャプチャー機能だけでもPCにNHの画像を取り込み可能です。画像処理機能を追加すると、マーカーや、エッジ部などワーク上の任意の点から測定を開始することができます。
載物台に高精度温度制御高温槽を組み込み、温度によるワークの形状変化をミクロンレベルで定量的に測定することが可能です。
円筒形状測定装置(NH-3EL)
円筒形のワークを３６０°ダイレクトに全周測定ができる縦型θステージを組み込んだシステムです。円筒部品等の断面形状を非破壊で測定します。
赤外透過観察装置(NH-3IR)
赤外光学系・赤外カメラを組み込み赤外顕微鏡として観察します。光通信用送受光素子部品の実装後の寸法評価が可能です。
ノマルスキー微分干渉観察装置(NH-3NP)
ウエハノマルスキー式微分干渉光学系で数十Åの粗さや傷を検出、観察します。
画像処理機能と組み合わせウエハ上の傷や欠陥の検出から定量的な測定までを実行することができます。
