三鷹光器の歩み　：　産業機器

　　-精度への挑戦-

ディスクテスター

ディスクテスター
（ハードディスクの試験装置）

InterOpto展示会

InterOpto展示会

PDI検体光学系

PDI検体光学系

三次元測定装置NH-3SP

三次元測定装置
NH-3SP販売開始

断面粗さ測定装置NH-120S

断面粗さ測定装置
NH-120S販売開始

マイクロ輪郭形状測定機　MLP-2

マイクロ輪郭形状測定器
MLP-2販売開始

pf-60

表面性状測定装置
PF-60販売開始

三次元測定装置AMS-5

三次元測定装置
AMS-5販売開始

三次元測定装置NH-3

三次元測定装置
NH-3販売開始

三次元測定装置NH-3N

三次元測定器
NH-3N販売開始

EUVLステッパー作業風景

EUVL露光装置

マイクロレンズアレイ形状／光学特性評価装置　NH-3MA

マイクロレンズアレイ形状／光学特性評価装置
NH-3MA販売開始

MP-3f

液浸形状測定装置
MP-3f販売開始

1990

1993

1994

1996

2000

2002

2004

2007

2009

2010