非接触三次元形状測定装置と非接触表面粗さ測定装置

非接触三次元測定装置　NH-3N

優れた機能と高いコストパフォーマンスを兼備したNHシリーズ標準システム

測定精度を極めた分解能1nmの高精度バージョン

加工から結像性能まで総合評価

非破壊で「ノズル径／深さ」を高精度自動測定！

60°以上の傾斜面のサブμm計測を可能にしたスティッチング計測技術

8インチウェハ、リードフレームなど高密度化、大型化する半導体製品の品質管理に最適

門型構造で精密金型など大型重量物の高精密測定を実現

液晶ディスプレイのパターン、大型非球面ミラーなどをダイレクト測定

Xステージのみ電動ステージにすることによりお求めやすい価格に

ワークを非破壊で360°の輪郭形状／粗さ測定

ノマルスキー光学系を搭載することにより数Åの表面粗さやキズを観察可能

温度変化によるワークの変形を高精度測定

赤外光学系および赤外カメラを組み込むことにより、赤外顕微鏡として利用することが可能

NH専用に設計されたエアーチャック式高精度ウェハホルダ

自動θステージを組み込むことにより、測定の操作性が向上し、容易にワークのセッティングを行うことができます