インデックス測定の50倍速を可能にするスキャンAF機能と高精度自動XYステージにより、数十mmオーダーの広範囲をサブμmレベルの測定精度で高速に測定する事を実現しました。
断面曲線では検出できない精密加工部品の反り測定、成型品の形状不良、トライボロジーにおける摩耗量や傷の定量評価に最適です。
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-mainimg.jpg)
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-mainimg_sq.jpg)
PF Series
非接触表面性状測定装置
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-img01.jpg)
より早く
より簡単に
より高精度に
特長
広範囲、高精度測定
半径R0.5μmのレーザプローブと高精度XYステージにより、数十mmオーダーの範囲をサブμmレベルの測定精度で、ダイレクトに測定します。
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-char01_01.jpg)
フレネルレンズ X= 4.498mm Y=4.501mm Z=4.733μm
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-char01_02.jpg)
回折格子 X= 4.498mm Y=4.501mm Z=4.733μm
高速三次元測定
高速スキャンAF機能により、広範囲 / 高速測定を実現しました。
従来は1時間20分かかっていた測定時間が6分で可能に。
従来は1時間20分かかっていた測定時間が6分で可能に。
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-char01_03.jpg)
間隔用標準片 XY= 0.8mm x 0.8mm
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF-char01_04.png)
断面測定 測定時間僅か15秒/8000点
優れた角度追従性
高感度AFセンサが表面からの僅かな反射光を捕捉。急斜面や段差のダイレクト精密測定を可能にします。
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-char01_05.jpg)
小径ギヤ(モジュール0.3) X=2mm Y=2mm Z=723μm
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-char01_06.jpg)
測定結果 最大傾斜角度85度を可能に
測定画面でワークをモニタしながら測定
見て測る。簡単操作で高度測定が可能です。
観察用の低倍レンズと測定用の高倍レンズの切り替えがスライドのワンタッチ操作で容易に可能です。
観察用の低倍レンズと測定用の高倍レンズの切り替えがスライドのワンタッチ操作で容易に可能です。
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-char01_07.jpg)
対物切り替え
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-char01_08.jpg)
測定画面
ISOが認めた測定方式
2008年に本測定法をISO規格の“面領域の表面性状の分類(ISO 25178-6)”に非接触測定法として提案し、“Point Autofocus Profiling”と命名され、2014年2月にISO 25178-605 : Point Autofocus Probeとして公布されました。
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF-char02_01.png)
測定概要
PF-60はZ軸の高さ測定用のオートフォーカス(AF)顕微鏡とスキャニング用高度精度XYステージにより構成されます。
AF顕微鏡により高さ方向の位置を測定し、XY、ステージ上のワークを移動させることでXYZの座標値を取り込み、形状測定を行います。
AF顕微鏡により高さ方向の位置を測定し、XY、ステージ上のワークを移動させることでXYZの座標値を取り込み、形状測定を行います。
スキャニングXYステージ
高精度XYステージを駆使させて座標軸を読み込む方式であるため、可動範囲内(60mm x 60mm)で連続して測定が可能です。視野範囲などの測定精度がないため測定データをつなぎ合わせる必要がなく、広範囲の高精度測定が可能です。
ポイントフォーカス式
高さ測定用のAF顕微鏡に組み込まれたレーザ光は上図の赤いラインのような光路で対物レンズを通り、半径0.5μmのレーザプローブとして測定ワーク表面に結像します。
ワーク表面のレーザプローブ反射光は再び対物レンズを通り、AFセンサ上に結像しますが、レーザプローブがフォーカス位置から移動するとAFセンサ上のスポットの位置も変化します。AFセンサはスポットの位置変位をリアルタイムで検出し、常にセンサ中心にスポットが来るようにAF軸機構部を動作させることでAF顕微鏡を位置決めします。
ワーク表面のレーザプローブ反射光は再び対物レンズを通り、AFセンサ上に結像しますが、レーザプローブがフォーカス位置から移動するとAFセンサ上のスポットの位置も変化します。AFセンサはスポットの位置変位をリアルタイムで検出し、常にセンサ中心にスポットが来るようにAF軸機構部を動作させることでAF顕微鏡を位置決めします。
粗さ測定にて国際基準と高い相関性
ポイントオートフォーカス式は触針式の粗さ測定と高い相関性を持ち、信頼性の高いデータを取得できます。
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-char02_02.jpg)
・粗さ標準片:TypeD1(ISO5436-1)
・校正機関:PTB(ドイツ)
・測定法:触針式
・スタイラス径:5μm
・評価長さ(ln):4 mm
・カットオフ値(λc):0.8 mm
・校正機関:PTB(ドイツ)
・測定法:触針式
・スタイラス径:5μm
・評価長さ(ln):4 mm
・カットオフ値(λc):0.8 mm
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF-char02_03.png)
ゴースト、迷光に強いAF光学系
測定表面近傍に他の反射面がある場合や二次反射光がフォーカス位置近傍にある場合、不要な光をカットして目的とする形状の測定ができます。
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/509de47d62db993413ca339d7bcca88a585e933d.png)
透明体表面
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/b25c41b47d0794425d895e75e7093b0b8220affa.png)
V溝2次反射光
測定機能
形状測定
ミリメートルオーダーの輪郭形状を0.01umの分解能でダイレクトに測定可能です。
三次元形状測定、評価
鏡面から透明体まで、反射率に依存せずに高精度に測定可能です。 得られた測定結果に対して形状除去機能や断面を抽出機能を用いて高精度な解析を行うことができます。
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-char03_02.jpg)
精密金型
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-char03_03.jpg)
マイクロレンズアイ(光学部品)
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-char03_04.jpg)
LEDレンズの表面欠陥(光学部品)
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF60-char03_05.jpg)
チップバイト先端形状(加工工具)
画像キャプチャー
PC上に測定エリアのモニタ画像を表示し、スケール表示や画像保存を行う機能です。
これにより測定位置確認やワークの観察だけではなく、簡易的な視野内の寸法測定が可能になりました。
これにより測定位置確認やワークの観察だけではなく、簡易的な視野内の寸法測定が可能になりました。
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/PF-char03_06.png)
仕様
設置サイズ
400mm×400mm
装置重量
31kg
可動範囲(X, Y, Z, AF)
60 × 60 × 60 × 10mm
X-Y軸スケール分解能
0.1μm
AF軸スケール分解能
0.01μm
測定原理
ポイントオートフォーカス法 ISO 25178-605
レーザ
λ = 635nm出力 1mW以下
得意な測定例
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/HDD-head-suspension-main.jpg)
HDサスペンション
触れると変化するもののうねりやよじれ
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/ic-main.jpg)
ICパターン
広範囲に渡る微細な形状
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/fingerprint-main.jpg)
指紋
やわらかい物でも非接触で高精度測定
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/human-hair-main.jpg)
髪の毛
微細な変化も捕らえて測定
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/diamond-abrasive-grain-main.jpg)
ダイヤモンド砥粒
切れ刃形状、突起高さを測定
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/tip-of-turning-tool-main.jpg)
チップバイトの刃先
3D表示、断面寸法評価、粗さ測定が可能
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/w-ww-main.jpg)
ウェハのそり、うねり形状
全体のそり、うねりを高速測定して多彩に表現
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/grinding_work_surface-main.jpg)
研削面のビビリ模様
測定範囲から面領域粗さ演算も可能
![](https://www.mitakakohki.co.jp/industry/images/wear_volume_of_brake_pad-main.jpg)
ブレーキパッドの摩耗量測定
バリ/接触面/摩耗面の分割や負荷曲線を計測可能
可能な測定例
製品/アフターサービスに関するご案内
“電話” “FAX” または “お問い合わせフォーム”にて受け付けております。
営業時間:9:00~17:30(土日祝除く)
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