超精密加工工具（ダイヤモンドRバイト）

一般的な投影型の工具測定機では測定が困難な工具の刃先形状測定が可能

（測定の様子）

ダイヤモンドRバイトの測定結果
・R寸法：1.6588mm
・輪郭度偏差：最大偏差　Pt=0.298μm
　　　　　　　自乗平均偏差　Pq=0.044µm

エッジ部から5µm下を測定（対物レンズ100倍）