高精度と使いやすさを実現するNHシリーズで、
これまでの測定課題を解決します。
・測定対象を傷つけることなく測定が可能
・急斜面や凹凸の大きな測定が得意
・鏡面やレンズなどの透明体もダイレクトに測定
NH Series
非接触三次元測定装置
大型ワークにも対応可能な
非接触三次元測定装置
特長
非接触測定でプローブが摩耗しない
非接触式のプローブの摩耗のような継続的な変化がないので、
日常の管理も容易です。
日常の管理も容易です。
測定点の観察が可能
測定点のレーザスポットとワーク表面の観察が常に可能です。画像処理により、エッジ検出、円測定が可能です。
高精度、高剛性XYステージ
NHシリーズのXYステージは、”高精度特定=しっかりとしたメカ”の概念を持って一台一台丹念に仕上げ、検査を施しているため、高精度な走り平行度を実現しています。
ステージ真直度±0.107μm(測定長150 mm)
ステージ平面度:0.437μm(測定エリア150×150 mm)
優れた角度追従性
高感度AFセンサが表面からの僅かな反射光を捕捉。急斜面や段差のダイレクト精密測定を可能にします。
小径ギヤ(モジュール0.3)
最大傾斜角 87度
表面の色や反射率に依存しない
表面の反射率わすか0.5%程度のコーティングガラスから反射率90%以上の鏡面までダイレクトに計測することが可能です。
測定課題の解決
接触式の課題点
試料表面に触針による測定痕が残る
- ・軟質性、粘着性の試料は測定不可
- ・微小な測定位置決めが出来ない
- ・摩耗する
課題の解決
非接触での測定により、貴重なワークも実サンプルで測定可能です
レーザー顕微鏡の課題点
視野内しか測れない
- ・広い範囲の測定には張り合わせが必要
- ・自動プログラム測定が苦手
課題の解決
測定範囲はステージ可動域全体なので、広い範囲をダイレクトに測定可能です
干渉方式の課題点
大きな形状変化は測定出来ない
- ・斜面の測定が苦手
- ・視野内しか測れない
- ・ミリオーダーの大きな反りは測れない
課題の解決
急斜面や凹凸の大きな形状の測定が得意です
焦点合成方式の課題点
鏡面ワークは測定出来ない
- ・鏡面仕上げの表面粗さ測定不可
- ・透明体などの測定では、表面処理などが必要
課題の解決
鏡面やレンズなどの透明体も、下処理無しでダイレクトに測定可能です
ISOが認めた測定方式
ISO規格の測定原理により、より信頼性の高いデータを提供します
NHシリーズは、高さ測定用レーザオートフォーカス(AF)顕微鏡と高精度XYZステージにより構成されています。 図において顕微鏡鏡筒部に送り込まれたレーザ光は対物レンズを通り光軸中心の焦点面に向かって進み、ワーク表面に反射 して再び対物レンズを通ってAFセンサ上に結像します。デフォーカス時レーザスポットはセンサ上で位置が変化するのでこ の位置変化をセンサが捉え、AF駆動機構を用いて対物レンズをフォーカスポイントへ位置決めします。自動XYステージで ワークをスキャニングさせフォーカスした各点のXYZ値を取り込み形状測定を行います。この方式はワーク表面の色や反射率の影響を受けることなく広範囲の高精度測定が可能です。 また、従来のインデックス測定モードに加えてスキャンオートフォーカスモードを搭載したことにより、粗さ測定などでの 高速測定を実現しました。
粗さ測定にて国際基準と高い相関性
ポイントオートフォーカス式は触針式の粗さ測定と高い相関性を持ち、信頼性の高いデータを取得できます。
・粗さ標準片:TypeD1(ISO5436-1)
・校正機関:PTB(ドイツ)
・測定法：触針式
・スタイラス径:5μm
・評価長さ(ln):4 mm
・カットオフ値(λc):0.8 mm
・校正機関:PTB(ドイツ)
・測定法：触針式
・スタイラス径:5μm
・評価長さ(ln):4 mm
・カットオフ値(λc):0.8 mm
各種スタンダードにおける測定精度 段差標準片
ミツトヨ製ステップゲージ
規格:(10±1.5)μm
測定結果:10.012μm
※ NH-3SP測定時
測定結果:10.012μm
※ NH-3SP測定時
VLSI Standards製Step Height Standards
規格:(1.779±0.011)μm
測定結果:1.788μm
※ NH-3SP測定時
測定結果:1.788μm
※ NH-3SP測定時
独自の光学系と測定法
ゴースト、迷光に強いAF光学系
測定表面近傍に他の反射面がある場合や二次反射光が フォーカス位置近傍にある場合、不要な光をカットして目的とする形状の測定ができます。
透明体表面
V 溝 2 次反射光
段差から XY 座標を測定するエッジ検出機能
一般の非接触寸法測定装置は、CCDカメラなどを用いて画像の濃淡度を敷居値としてエッジを検出します。※ 一方NHシリーズでは形状を測定し、表面からの高さΔZを敷居値としてワーク端面を検出します。そのため表面の色や反射率に左右されず、広い範囲を高精度に測定できま す。大容量化、高精度化する半導体や光デバイス、精密部品の寸法測定に不可欠な測定機能です。
外径測定
3 点以上のエッジを検出し半径と中心座標を測定
3 点以上のエッジを検出し半径と中心座標を測定
溝幅測定
4点以上のエッジを検出し中央座標を測定
4点以上のエッジを検出し中央座標を測定
測定機能
空間座標
NHシリーズは多彩な空間座標構築機能により、ワークに応じた測定補助が可能です。
測りたいところだけを的確に指定することにより効率的な品質管理が可能です。
測りたいところだけを的確に指定することにより効率的な品質管理が可能です。
アライメント機能
基準面作成機能
点測定機能
高さ測定機能
曲率測定
エッジ測定
円測定
溝幅測定
マクロ測定
画像処理機能(オプション)と空間座標機能、ポイントフォーカスによる指定箇所測定機能を組み合わせて、自動測定・評価が可能です。
NH Series
NH-3SPs
非球面レンズ、導光板、金型などの形状測定
NH-5Ns
大型の精密金型の測定
NH-3MAs
レンズの光学特性、形状評価専用モデル
NH-3Ns
優れた機能と高いコストパフォーマンスを兼備した標準システム
NH-4Ns
8インチウェハ、リードフレームなど半導体製品の品質管理に
仕様 (NH-3SPs)
可動範囲(X, Y, Z, AF)
150 × 150 × 120 × 10mm
X-Y軸スケール分解能
0.01μm
AF軸スケール分解能
0.001μm
測定原理
ポイントオートフォーカス法 ISO 25178-605
レーザ
λ = 635nm出力 1mW以下
得意な測定例
ハンダ体積
三次元形状からハンダ体積・高さ測定
HDサスペンション
触れると変化するもののうねりやよじれ
ICパターン
広範囲に渡る微細な形状
指紋
やわらかい物でも非接触で高精度測定
ダイヤモンド砥粒
切れ刃形状、突起高さを測定
チップバイトの刃先
3D表示、断面寸法評価、粗さ測定が可能
髪の毛
微細な変化も捕らえて測定
BGA
形状・高さ測定、コプラナリティ評価など機能充実
ウェハのそり、うねり形状
全体のそり、うねりを高速測定して多彩に表現
可能な測定例
オプションにて可能な測定例
製品/アフターサービスに関するご案内
“電話” “FAX” または “お問い合わせフォーム”にて受け付けております。
営業時間：9:00～17:30（土日祝除く）
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