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産業機器

宇宙から学んだ新技術

宇宙開発機器の技術を産業界に応用し各業界の原器となる精密機器を製作してまいりました。
なかでもレーザオートフォーカスを用いた非接触三次元測定装置は国内の半導体産業や超精密加工分野で広く普及し、日本の測定技術としてISO-25178(三次元形状・表面の粗さの国際規格)に‘ポイントオートフォーカス法’と命名され登録されました。今後世界に向けてこの“新技術”を提供してまいります。

製品・シリーズから選ぶ 測定例から選ぶ

非接触三次元測定装置

NHシリーズ

どんなワークも非接触で測定

全周三次元測定装置

MLPシリーズ

小型レーザヘッドと5軸制御が可能にした非接触全周三次元測定

非接触表面性状測定装置

PF-60

スキャンAF機能により広範囲・高速測定を実現

レーザプローブ応用製品

MP-3シリーズ

加工機やインライン装置上で高精度な測定が可能

高精度チップボンダ

FAMICシリーズ

吸着チップを高精度実装

産業機器

仕様一覧表

主な機器を仕様毎に比較

測定例から選ぶ 製品・シリーズから選ぶ

フレネルレンズ金型

急な段差がある透明なレンズも高精度測定

回折格子

サブミクロンの溝も高速・高精度測定

ハンダ体積

三次元形状からハンダ体積・高さ測定

ダイシングブレードのそり

マスク指定で円形パターンを一括高速測定

マイクロレンズアレイ

レンズ面の凹凸にも追従して形状測定

HDサスペンション

触れると変化するもののうねりやよじれ

ICパターン

広範囲に渡る微細な形状

非球面レンズ金型表面

ダイヤモンドターニング加工表面

指紋

やわらかい物でも非接触で高精度測定

髪の毛

微細な変化も捕らえて測定

ハーフミラー蒸着ムラ

ナノレベルの見えにくいムラも高精度に測定して明確に表示

ダイヤモンド砥粒

切れ刃形状、突起高さを測定

チップバイトの刃先

3D表示、断面寸法評価、粗さ測定が可能

BGA

形状・高さ測定、コプラナリティ評価など機能充実

ウェハのそり、うねり形状

全体のそり、うねりを高速測定して多彩に表現

斜入射X線ミラー

大型ワークのサブミクロン測定が可能

研削面のビビリ模様

測定範囲から面領域粗さ演算も可能

ブレーキパッドの摩耗量測定

バリ/接触面/摩耗面の分割や負荷曲線を計測可能

プラスチック歯車

反射率の低い樹脂歯車も高精度に測定

マイクロギヤ

接触式では不可能なモジュール0.1以下のマイクロギヤの測定が可能に

インターナルギヤ

オプションの内径測定ユニットを装着して、内歯歯車や内周形状測定が可能

精密ギヤ歯面

精密ギヤの形状測定と表面粗さ評価

エンドミル測定

外径、すくい角、逃げ角を形状データから高精度測定

精密マイクロパンチ

職人の技に頼っていた精密パンチの測定も、誰でも簡単に

ドリル輪郭形状、刃先測定

外観検査に頼っていた工具測定も、レーザプローブで定量的かつ高精度に

チップバイト測定

チップバイトの先端形状や使用前後の摩耗状態を定量的に評価

超精密加工工具(ダイヤモンドRバイト)

一般的な投影型の工具測定機では測定が困難な工具の刃先形状測定が可能

ノズル測定

インクジェット、紡糸口金等の小径ノズルの穴径/深さ測定が可能に