English

NH-3SP  “超精密非接触三次元測定装置”

測定精度を極めた分解能1nmの高精度バージョン

非球面レンズ、導光板、金型などの形状測定や検査に最適です。

仕様

  • 測定範囲 (X, Y, Z) = 150 x 150 x 10mm
    オプションにて Z = 130mm
  • 分解能 (X, Y, Z) = 0.01 x 0.01 x 0.001μm

測定応用例

  • 非球面レンズ測定、形状評価
  • 金型の測定、粗さ測定
  • マイクロレンズ測定、ピッチ計測
  • 液晶導光板の形状、ピッチ
  • ウエハパターンの寸法測定
  • 表面のキズ、欠陥測定
  • MEMS関連

NH-3SPが得意な測定例

フレネルレンズ金型

急な段差がある透明なレンズも高精度測定

回折格子

サブミクロンの溝も高速・高精度測定

非球面レンズ金型表面

ダイヤモンドターニング加工表面

ハーフミラー蒸着ムラ

ナノレベルの見えにくいムラも高精度に測定して明確に表示

可能な測定例

オプションにて可能な測定例

この製品へのお問い合わせ

この製品へのお問い合わせは、電話 / FAX / お問い合わせフォームにて受け付けております。
電話:0422-49-1491
FAX:0422-49-1117
お問い合わせフォームはこちら